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                                                                                                                        磁控溅射镀膜的常见故障及排除方法
磁控溅射的特点是:成膜速率高,基片温度低,膜的粘附性好,可实现大面积镀膜,但长时间的工作下平时要多注意保养。
下面跟大家分享下磁控溅射镀膜的常见故障及排除方法 :
一、膜层灰暗及发黑
(1)真空度低于0.67Pa,应将真空度提高到0.13-0.4Pa; 
(2)氩气纯度低于99.9%,应换用纯度为99.99%的氩气;
(3)充气系统漏气,应检查充气系统,排除漏气现象;
(4)底漆未充分固化,应适当延长底漆的固化时间;
(5)镀件放气量太大,应进行干燥和封孔处理。
二、膜层色泽不均
(1)底漆固化不良或变质,应适当延长底漆的固化时间或更换底漆;
(2)溅射时间太长,应适当缩短;
(3)溅射成膜速度太快,应适当降低溅射电流或电压。
三、膜层色泽不均 
(1)底漆喷涂得不均匀,应改进底漆的施涂方法;
(2)膜层太薄,应适当提高溅射速度或延长溅射时间;
(3)夹具设计不合理,应改进夹具设计;
(4)镀件的几何形状太复杂,应适当提高镀件的旋转速度。
四、膜层发皱、龟裂 
(1)底漆喷涂得太厚,应控制在7—lOtan厚度范围内;
(2)涂料的粘度太高,应适当降低;
(3)蒸发速度太快,应适当减慢;
(4)膜层太厚,应适当缩短溅射时间;
(5)镀件温度太高,应适当缩短对镀件的加温时间。
五、膜层表面有水迹、指纹及灰粒 
(1)镀件清洗后未充分干燥,应加强镀前处理; 
(2)镀件表面溅上水珠或唾液,应加强文明生产,操作者应带口罩;
(3)涂底漆后手接触过镀件,表面留下指纹,应严禁用手接触镀件表面;
(4)涂料中有颗粒物。应过滤涂料或更换涂料。 
(5)静电除尘失效或喷涂和固化环境中有颗粒灰尘。应更换除尘器,并保持工作环境的清洁。
六、膜层附着力不良 
(1)镀件除油脱脂不彻底,应加强镀前处理;
(2)真空室内不清洁,应清洗真空室。值得注意的是,在装靶和拆靶的过程中,严禁用手或不干净的物体与磁控源接触,以保证磁控源具有较高的清洁度,这是提高膜层结合力的要措施之一; 
(3)夹具不清洁,应清洗夹;
(4)底涂料选用不当,应更换涂料;
(5)溅射工艺条件控制不当,应改进溅射工艺条件。